Мультиканальный контроллер газа может отслеживать 8 каналов одновременно
Изменение скорости потока высокой точностью в реальном времени
- Скорость потока: (0-5,10,20,30,50,100,200,300,500,1000) SCCM (0-1,2,3,5,10,20,30) SLM
-
Точность: ±0,5% от FS
. (20,30 SLM
±2% от FS.)
- Повторяемость: ±0,2% FS
- Сброс давления: <0.02 МПа
- Канал: 8
- Давление: 10 МПа
- Метод контроля: PC программное обеспечение,
- Интерфейс: RS232 (стандарт) и RS485, WiFi Опция